關鍵詞：多位相光柵分光器 模擬退火優(yōu)化算法 光互連 

摘要：設計了二維多位相光柵分光器的位相結構,并根據(jù)周期性位相結構推導出位相光柵的二維分光公式,使用模擬退火優(yōu)化算法對二維8×16四位相光柵分光器的位相結構進行了優(yōu)化設計,得到了二維分光效率為70.03%、不均勻度僅為4.6×10-4的位相光柵。將優(yōu)化計算得到的位相分布結果進行拆分,制作了光刻版,利用光刻版套刻制作了四位相光柵分光器樣品,并搭建光路對樣品的分光性能進行了測試,結果表明,多位相結構能顯著提高光柵的分束效率和均勻性。

半導體光電雜志要求:

{1}文稿要求論述充分有力，研究方法嚴謹創(chuàng)新。

{2}來稿敬請附上作者簡介、真實姓名、電話、詳細通訊地址、電子信箱等個人資料。

{3}本刊作者文圖責任自負。對于作者侵犯他人版權或其他權利的文字、圖片稿件，本刊概不承擔任何連帶責任。

{4}基金項目和作者簡介按下列格式：基金項目：項目名稱（編號）；作者簡介：姓名（出生年），性別，籍貫，單位，學位，研究方向。

{5}摘要中不出現(xiàn)圖、表、化學結構式和非公知用的符號和術語，也不宜引用文中圖、表、公式和參考文獻的序號。關鍵詞一般選用3～5個敘詞，中英文相一致。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社