關(guān)鍵詞：渦流傳感器 電感變化率 comsol仿真 靈敏度 熱穩(wěn)定性 

摘要：為了提高渦流傳感器的電感靈敏度和熱穩(wěn)定性,研究了探頭線圈的結(jié)構(gòu)、激勵(lì)頻率和溫度對(duì)線圈電感變化率的影響。首先通過(guò)COMSOL Multiphysics仿真軟件構(gòu)建穩(wěn)態(tài)物理模型并加入瞬態(tài)溫度模塊,通過(guò)參數(shù)化掃描仿真,驗(yàn)證該模型的合理性。其次在穩(wěn)態(tài)恒溫實(shí)驗(yàn)條件下對(duì)線圈內(nèi)外半徑、厚度、匝數(shù)進(jìn)行仿真,得到導(dǎo)線直徑不超過(guò)40μm、內(nèi)半徑0.1mm~0.5mm、外半徑2.5mm的60匝單層平面線圈的電感靈敏度和測(cè)量分辨率最佳。最后在瞬態(tài)變溫實(shí)驗(yàn)條件下得到激勵(lì)頻率900kHz時(shí)可以最大程度的提高傳感器熱穩(wěn)定性和電感靈敏度,減小溫度引起的誤差。

傳感技術(shù)學(xué)報(bào)雜志要求:

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