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基于質(zhì)量剛度解耦的三波腹嵌套環(huán)MEMS陀螺結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計

高凱; 李青松; 張勇猛; 路闊; 王鵬; 許一; 李斌; 肖定邦 國防科技大學(xué)智能科學(xué)學(xué)院; 長沙410073

關(guān)鍵詞:嵌套環(huán)陀螺 性能優(yōu)化 質(zhì)量剛度解耦 靈敏度 熱噪聲 

摘要:

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