關鍵詞：電子氣 經濟性比較 冷量 總成本 制氮機 

摘要：根據電子氣行業配套小型標準化制氮機的特點,從裝置負荷調節性、經濟性和操作靈活性三個方面,針對不同的冷量制取方式分析研究其各自優缺點及適合的應用場合,優化裝置設計,在裝置的生命周期內使得客戶的總成本最低。

低溫與特氣雜志要求:

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