關鍵詞：專利文摘 電子氣體 回收利用方法 吸收塔 原料輸送 

摘要：本發(fā)明涉及一種電子氣體尾氣的回收利用方法及裝置,首先將電子氣體尾氣送入吸收塔下部,吸收劑由塔頂進入,塔底物料作為原料輸送至脫輕塔,塔頂采出輕雜質;吸收塔塔底物料在脫輕塔中進行分離,塔頂采出輕組分,塔釜一部分作為吸收劑返回吸收塔頂部,一部分作為原料輸送至脫重塔;脫重塔塔頂采出電子氣體產品,塔釜物料進入吸收劑回收塔;吸收塔頂部氣體先進入預處理塔脫除部分重組分,預處理塔塔頂采出稀有氣體依次進人一級冷阱、二級冷阱,冷凝液返回預處理塔,未經冷凝的氣體即為高純度的稀有氣體;脫重塔底部物料進入吸收劑回收塔后,塔頂采出輕雜質,塔底采出重雜質,底部側線采出吸收劑返回吸收塔頂部。電子氣體回收率90%~99%。

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