關(guān)鍵詞：精密測(cè)量 圓光柵測(cè)角 測(cè)角誤差 諧波補(bǔ)償 多項(xiàng)式 

摘要：在實(shí)際工業(yè)應(yīng)用中,環(huán)境溫度變化是便攜關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中旋轉(zhuǎn)軸系測(cè)角精度的主要誤差源。為了消除環(huán)境溫度對(duì)旋轉(zhuǎn)軸系測(cè)角精度的影響,本文提出了一種新型圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償方法,即建立含有環(huán)境溫度影響因子的圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償模型。利用諧波方法建立在特定溫度下的圓光柵測(cè)角誤差補(bǔ)償模型,利用多項(xiàng)式方法建立諧波系數(shù)與環(huán)境溫度之間的函數(shù)關(guān)系。最后,以14℃下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)為驗(yàn)證數(shù)據(jù),分別代入到傳統(tǒng)諧波誤差補(bǔ)償模型和本文提出的模型中。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,相對(duì)于傳統(tǒng)諧波誤差補(bǔ)償模型,使用本文提出的模型補(bǔ)償后圓光柵的測(cè)角精度提高4倍左右,修正后的殘差峰峰值在2″以內(nèi),能夠有效地補(bǔ)償10~40℃下圓光柵的測(cè)角誤差。

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