關(guān)鍵詞：鐵電性 柔性 剩余極化強(qiáng)度 

摘要：21世紀(jì)以來(lái),微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展,對(duì)鐵電材料的柔性和電活性的要求隨之增加,P(vdf)作為優(yōu)秀的柔性鐵電材料而備受關(guān)注。為實(shí)現(xiàn)P(vdf)鐵電性能的調(diào)控,本文使用BaTiO3進(jìn)行了摻雜,并采用旋涂法制備了納米薄膜,探究了空氣濕度與退火溫度對(duì)薄膜性能影響,為有機(jī)柔性材料的電活性調(diào)控提供了一個(gè)可行思路。

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