關鍵詞：化學氣相滲透 bn界面層 復合界面層 

摘要：SiC_f/SiC復合材料由SiC纖維、SiC基體和界面層組成。界面層可以傳遞載荷和偏轉裂紋,同時防止SiC纖維受到材料制備和使用過程中的化學侵蝕,對于調節SiC_f/SiC復合材料的性能具有非常重要的作用。本文綜述了氮化硼界面層的晶體結構、復合界面層的種類,介紹了化學氣相滲透法制備氮化硼(boron nitride,BN)及其復合界面層的工藝條件,總結了先驅體氣體比例、載氣、沉積壓力及溫度等工藝條件對界面層沉積速率、微觀形貌結構的影響。選擇合適的工藝條件,制備理想結構的BN及其復合界面層,將是SiC_f/SiC復合材料界面層研究領域的重點和難點。

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