關鍵詞：靜壓導軌 激光傳感器 有限元分析 模態性能 

摘要：在超精密加工設備中,超精密液體靜壓導軌是其關鍵部件.影響導軌性能的因素有很多,隨著加工精度的不斷提高,導軌的動態特性成為了不可忽視的因素之一,導軌模態性能測試的準確性更成為其關鍵.本文采用某型激光傳感器對液體靜壓導軌進行頻譜響應測量,測量精度高,測量準確.

航空精密制造技術雜志要求:

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