關(guān)鍵詞：折衍混合 物鏡 衍射微結(jié)構(gòu) 光學設(shè)計 薄膜 

摘要：折衍混合透鏡具有重量輕和結(jié)構(gòu)緊湊的特點,在空間光學儀器等方面有一定的優(yōu)勢。結(jié)合物鏡設(shè)計要求的工作波段3.7~4.8μm、焦距64 mm和F數(shù)1.6等參數(shù),采用了含有平面衍射微結(jié)構(gòu)的3片式分離鏡片,物鏡總長度和重量得以明顯減少,減少約40%。鏡片選用了常用的紅外光學材料硅和鍺,設(shè)計對公差的要求較為寬松,得到的彌散斑半徑小于9.5μm,各個視場的MTF值在17毫米線對處均達到0.8。硅平面鏡表面的衍射微結(jié)構(gòu)可以用4次套鍍薄膜的方法來實現(xiàn)16個臺階,分析了衍射微結(jié)構(gòu)可接受的加工誤差范圍。選用SiO和ZnS膜層來減少鏡片表面反射損失,波段內(nèi)物鏡的光學效率達到93%。

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