關(guān)鍵詞：測量精度 六自由度 位移測量 系統(tǒng)參數(shù) 

摘要：針對一種基于多準直光束的六自由度微位移測量方法,對系統(tǒng)在幾種典型參數(shù)下的測量精度進行研究。測量系統(tǒng)利用固定在被測部分的光纖準直器發(fā)出準直光束,入射到固定部分的CCD相機上。主控單元通過控制光開關(guān)分時控制光纖準直器發(fā)光,在發(fā)光同時采集相應(yīng)CCD相機圖像,根據(jù)相機圖像光點位置變化計算被測物體六自由度微位移。采用軟件仿真分析的方式對幾種典型系統(tǒng)參數(shù)下的系統(tǒng)的六自由度測量精度對比分析。結(jié)果表明:在考慮準直光束隨機誤差的情況下,4條準直光束組成準直光束測量系統(tǒng),隨機光束分布時測量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)六自由度微位移的測量,驗證了系統(tǒng)理論的可行性。在發(fā)散式光束和匯聚式光束兩種對稱4光束模型中,系統(tǒng)測量精度隨CCD的距離增加而提高,而當CCD間距過近時系統(tǒng)無法實現(xiàn)六自由度位移的正確測量。

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