關鍵詞：測量精度 六自由度 位移測量 系統參數 

摘要：針對一種基于多準直光束的六自由度微位移測量方法,對系統在幾種典型參數下的測量精度進行研究。測量系統利用固定在被測部分的光纖準直器發出準直光束,入射到固定部分的CCD相機上。主控單元通過控制光開關分時控制光纖準直器發光,在發光同時采集相應CCD相機圖像,根據相機圖像光點位置變化計算被測物體六自由度微位移。采用軟件仿真分析的方式對幾種典型系統參數下的系統的六自由度測量精度對比分析。結果表明:在考慮準直光束隨機誤差的情況下,4條準直光束組成準直光束測量系統,隨機光束分布時測量系統能夠實現六自由度微位移的測量,驗證了系統理論的可行性。在發散式光束和匯聚式光束兩種對稱4光束模型中,系統測量精度隨CCD的距離增加而提高,而當CCD間距過近時系統無法實現六自由度位移的正確測量。

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