關鍵詞：金剛石薄膜 硼及其協同摻雜 電學性能 改性方法 

摘要：在金剛石中摻入雜質元素會在保留其原有優良性能的基礎上獲得其他性能,如摻入硼元素可以使金剛石成為P型半導體;協同摻雜其他元素可以改善金剛石的電學性能、催化活性等,甚至可以改變硼摻雜金剛石薄膜的導電機制.本文詳細介紹了硼及其協同摻雜金剛石薄膜的制備方法、結構特點以及微觀形貌,綜述了影響其性能的因素及改性方法.

金剛石與磨料磨具工程雜志要求:

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