關鍵詞：mems 慣性 傳感器 現狀 趨勢 

摘要：自上世紀90年代以來,針對MEMS慣性器件的研究越來越多,MEMS慣性傳感器開始得到廣泛的商業應用。本文對部分MEMS慣性傳感器國內外的新近研究成果進行了分類與歸納,分別對MEMS加速度計、MEMS陀螺儀和微慣性測量組合以及慣性微系統進行了研究與分析。對MEMS慣性傳感器發展趨勢進行了初步推斷,認為未來MEMS慣性傳感器的發展主要有四個方向:高精度,以滿足日益精細化、智能化的應用需求;微型化,以實現便攜、分布式應用要求;高集成度,以完成多種功能高密度組合;適應性強,以適應復雜應用環境,拓寬應用范圍。

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