關(guān)鍵詞：叉指電極 氣敏薄膜 初始電阻 微分方程 

摘要：叉指電極可有效降低金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏薄膜的測試電阻,有利于薄膜氣敏性能的測量,已廣泛用于薄膜型氣體傳感器上。而叉指電極的尺寸不僅會影響傳感器表面的熱量分布,也會對薄膜初始電阻造成影響。提出了解微分方程法計算叉指電極上氣敏薄膜的初始電阻,推導(dǎo)了計算薄膜初始電阻的微分方程,采用COMSOL軟件中的AC/DC模塊,對特定尺寸叉指電極上的氣敏薄膜在不同工作溫度時初始電阻進(jìn)行了仿真,并與實驗進(jìn)行了對比,證明了該方法的可行性。

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