關(guān)鍵詞：計(jì)量學(xué) 深度測(cè)量 微納結(jié)構(gòu) 掃描探針顯微鏡 

摘要：掃描探針顯微鏡(SPM)是微納結(jié)構(gòu)三維測(cè)量中的一項(xiàng)重要技術(shù)。然而,在測(cè)量過(guò)程中臺(tái)階或溝槽樣品的邊緣附近會(huì)出現(xiàn)不準(zhǔn)確的輪廓,這就造成了深度測(cè)量的精度損失。為了避免深度測(cè)量的精度損失,分別建立了機(jī)械探針和光學(xué)探針的兩個(gè)分析模型,描述了不準(zhǔn)確輪廓、樣品深度和探針形狀之間的耦合關(guān)系;在此基礎(chǔ)上,提出了一種具有良好精度的深度測(cè)量標(biāo)定方法。與現(xiàn)有的國(guó)際深度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)(W/3規(guī)則)進(jìn)行比較,該方法提供了一個(gè)明確的邊界來(lái)確定測(cè)量結(jié)果是否有效;此外,它還可以指導(dǎo)用戶在執(zhí)行測(cè)量之前選擇適當(dāng)?shù)奶结槨?/p>

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