關鍵詞：等離子體增強磁控濺射 組織形貌 結合力 硬度 

摘要：利用等離子體增強非平衡磁控濺射技術,在7A04鋁合金表面制備Cr/CrN的復合硬質薄膜。研究Ar、N2通量比(即FAr/FN2)和腔體壓強對薄膜形貌、物相組成、膜-基結合力及硬度的影響。結果表明:利用磁控濺射技術可以在7A04鋁合金表面制備出組織致密均勻且與基體結合良好的Cr/CrN復合薄膜。隨FAr/FN2增大,組織生長越來越致密,晶粒形狀由柱狀晶逐漸向等軸晶轉變,膜與基體間的結合力逐漸增大,硬度開始增加然后減小。隨著腔體壓強的增加,組織生長逐漸疏松,晶粒尺寸逐漸增大,對膜與基體間結合力的影響不大。

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