關鍵詞：橢圓偏振光測量 偏振糾纏光子 光纖 自發四波混頻 

摘要：利用基于光纖的便攜式偏振糾纏光子對源作為檢測光源,搭建了使用單模光纖進行耦合的量子橢圓偏振光測量裝置。實驗測量了氧化層厚度為100nm的氧化膜硅片樣品,通過將偏振糾纏光子對中的一路經由氧化膜硅片樣品進行反射,然后借助雙光子符合計數方法測量反射后的量子態,得到了樣品的橢圓偏振參數。當入射到樣品上的光子波長為1 558.17nm,入射角為30°時,通過三次實驗所得的橢圓偏振參數(ψ,Δ)的平均值分別為40.23°和173.10°,標準差分別為0.046°和0.403°,測量結果的相對標準偏差小于1%,同時該結果與仿真模擬值相符。

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