關鍵詞：二氧化釩 薄膜 摻雜 熱處理 

摘要：采用溶膠凝膠法制備了鎢摻雜和不摻雜的二氧化釩薄膜,研究了不同退火溫度、退火時間對薄膜微觀結構的影響,以及不同摻雜量的鎢離子對薄膜可見光透過率的影響。XRD結果表明:薄膜樣品為VO2(M)相結構;SEM結果分析表明:薄膜晶粒尺寸大小和間距隨退火溫度的升高、退火時間的增加而變大;UV-vis測試結果表明:與未摻雜氧化釩薄膜相比,W離子摻雜有利于提高VO2薄膜可見光的透過率,在400nm處透過率從47%增加到67%,在VO2薄膜表面涂覆SiO2膜,該涂層可以提高可見光的透過率(在600nm附近提高3%)。

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