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集成電路工藝用過氧化氫中雜質元素的檢測方法

李春華; 田玉平; 高艷秋 上海市計量測試技術研究院

關鍵詞:電子級 過氧化氫 高分辨質譜 

摘要:

上海計量測試雜志要求:

{1}來稿請通欄排版,正文中如有圖、表,請放置于正文中相應的位置,彩色圖須轉成黑白圖。

{2}來稿要求切勿一稿多投,作者應當確認作品著作權的完整性、合法性,作品及內容不得侵犯他人合法權益。

{3}參考文獻應以作者親自閱讀的近5年內文獻為主,按引用的先后順序列出。

{4}中文摘要300~500字,是以第三人稱對文中觀點進行概括,能簡明反映論文的主要內容信息。關鍵詞3~6個為宜。

{5}作者簡介:姓名,出生年,性別,籍貫,單位(大小單位都要寫清,如:安徽大學外語學院)及所在省市、郵編,職稱或學位。

注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

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