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基于復合封裝薄膜的水汽透過率測試系統研究

李晟; 張建華; 樓志斌; 殷錄橋 上海大學新型顯示技術及應用集成教育部重點實驗室; 上海200072; 上海大學機電工程與自動化學院; 上海200072; 上海科學院; 上海201203

關鍵詞:薄膜封裝 活潑金屬電學法 水汽透過率 

摘要:基于活潑金屬(鈣、鎂)電學法設計研發了用于老化測試環境下的水汽透過率測試儀器,測試精度達到10^-6g·m-2·d-1.利用本測試儀器測試了不同疊層次數的Al2O3/ZrO2復合薄膜的水汽透過率,結果表明,多次疊層后的Al2O3/ZrO2復合薄膜的水汽阻隔性能得到了較好提升.

上海應用技術學院學報雜志要求:

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{2}來稿應為原創作品。本刊編輯部對來稿有文字修改權,如作者事先無特殊聲明,稿件一經采用,一律視為本刊擁有該稿件的印刷版、電子版和網絡版的使用權和分許可權。

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