關鍵詞：修飾層 晶體結構 

摘要：為改善ZnO薄膜的光學性質,采用溶膠-凝膠法分別制備了3層和6層ZnO基底上覆不同層數TiO2修飾層的透明薄膜,分析TiO2修飾層對薄膜晶體結構的影響。用不同工藝流程制備了覆TiO2修飾層的ZnO基透明薄膜,研究非晶化出現的過程。結果表明:所有混合鍍膜樣品,其結晶性均受到阻礙,所得樣品呈現出明顯的非晶狀態;非晶化的出現會對薄膜的光學性質產生顯著影響。非晶化過程發生在樣品制備過程中的預處理和退火階段,其中退火過程中的非晶化更為主要。

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