關鍵詞：集成電路產業 制造業水平 競爭態勢 集成電路裝備 夯實基礎 

摘要：集成電路(integrated circuit,IC)裝備作為集成電路產業發展的關鍵基礎,己成為高技術裝備產業的典型代表。一個國家集成電路裝備制造業水平的高低,決定了整個集成電路產業的發展水平。本文結合全球集成電路裝備產業鏈條,解析全球及我國集成電路裝備的技術體系及競爭態勢。分析發現,我國集成電路裝備發展快速,但短板仍很明顯,應進一步夯實基礎,加快提升創新步伐。

新材料產業雜志要求:

{1}稿件應為未公開發表的作品，凡來稿，均視為作者、譯者已經閱讀或知悉并同意本聲明。

{2}編輯部有權對來稿進行修改或刪節，但對內容的實質性修改將征得作者同意。

{3}論文所引文獻的注釋必須規范，準確標明作者、文獻名稱、出版社或出版物的名稱、出版或發表的時間、頁碼等。注釋一律采用腳注方式，注釋序號使用1、2、3……標示，每頁單獨排序。

{4}引用大型常用出土文獻合集，可使用括注，括注應使用不同于正文的字體。第一次應使用全稱，第二次可使用簡稱。

{5}獲得各項課題資助的來稿將優先發表（需要在稿件首頁注明）。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社