關(guān)鍵詞：電致化學(xué)拋光 液浮平面電極 comsol 法向剛度 傾覆力矩 

摘要：電致化學(xué)拋光是一種超光滑超平整表面的無應(yīng)力加工方法,加工工具是大面積液浮平面電極,其穩(wěn)定性是影響加工質(zhì)量的最關(guān)鍵因素。研究電極穩(wěn)定性對(duì)于提高加工質(zhì)量具有重要意義。基于靜壓支撐原理,設(shè)計(jì)了電極結(jié)構(gòu),采用COMSOL仿真研究了液壓腔數(shù)目,傾斜方向?qū)﹄姌O法向剛度和傾覆力矩的影響。結(jié)果顯示法向剛度大小與液壓腔數(shù)目成正相關(guān),增加液壓腔數(shù)目可以有效提高電極抗傾覆能力和弱化其異向性,表明了增加液壓腔數(shù)目可以有效提高電極穩(wěn)定性能。

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