關鍵詞：激光損傷 k9光學元件 sinc函數 表面輪廓表征 

摘要：為滿足對高能激光系統中損傷光學元件修復及對后端光學系統進行分析的應用需求,針對高斯激光造成不同損傷程度的K9光學元件建立了損傷表面輪廓的數學表征方法。首先,開展了激光輻照效應實驗,獲取了不同損傷程度的K9光學元件樣品,并通過Zygo白光干涉儀獲取樣品表面3維形貌原始數據;其次,利用高斯濾波算法對表面輪廓進行提取,并構建合適的坐標系;最后,利用Sinc函數構建了一組正交輪廓曲線。結果表明,3種不同損傷程度K9玻璃的1維輪廓均可用類Sinc函數描述,表征結果與實際濾波后輪廓曲線之間的擬合偏差為0.5~7μm。

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