硅微諧振式壓力傳感器閉環頻率跟蹤電路

許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業大學電子科學與應用物理學院; 安徽省MEMS工程技術研究中心; 安徽合肥230009

關鍵詞:諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環 無相差 

摘要:

儀表技術與傳感器雜志要求:

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{2}對所投稿件,本刊有權根據本刊辦刊要求對其進行適當刪改或調整,作者如不愿被改動,來稿時請注明。

{3}文中標題層次用阿拉伯數字連續編號,例如:1…,2…,2.1…,2.1.1…,一律左頂格。一、二級標題后的正文另起,縮進2字。三級標題后空1字接正文。

{4}參考文獻:按照中文參考文獻在前,日文參考文獻次之,西文參考文獻居后的順序排列。各語種參考文獻以作者姓名讀音為序。

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儀表技術與傳感器

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