關鍵詞：交指濾波器 主動空間映射算法 參數提取 

摘要：交指型微機電系統(MEMS)濾波器是采用MEMS工藝制備出的交指型結構濾波器,針對交指型MEMS濾波器電磁優化算法中存在速度慢,占用計算資源大等問題,對交指型MEMS濾波器優化設計方法進行了研究。采用主動空間映射算法,在ADS和HFSS軟件中建立濾波器電路結構模型和三維結構電磁模型,并分別將它們用于主動空間映射算法所需的粗糙仿真和精確仿真,僅進行了5次精確仿真就完成了一款Ku波段濾波器的優化設計。結果表明,設計的濾波器中心頻率為14GHz,頂部損耗為1.6dB,-1dB帶寬為2.2GHz,滿足設計指標要求,同時驗證了優化設計方法的可行性。

壓電與聲光雜志要求:

{1}獲得基金項目資助的文章注明基金項目名稱和編號。

{2}凡在本出版物發表的作品，本編輯部享有節選出版與轉載的權利，包括但不限于傳統媒體、數字媒體、數字出版物、網絡平臺等媒介載體，作為交流使用。

{3}圖表圖、表應具自明性。以阿拉伯數字排表、圖序號。表格采用三線表格。

{4}一般注釋采用腳注的形式，即在正文需注釋處的右上方按順序加注數碼 1、2、3……。

{5}文中所用引文及資料，請核實準確，注明出處。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社