關(guān)鍵詞：多叉指換能器 rayleigh波 有限元分析 三維建模 模態(tài)分析 

摘要：針對目前改變Rayleigh波器件中波的傳播方向和強度較復(fù)雜的問題,提出了一種多叉指Rayleigh波器件結(jié)構(gòu)和三維建模方案。該三維建模方案用有限元分析法去逼近實際器件的壓電基片和叉指換能器等真實器件結(jié)構(gòu)和尺寸。選取壓電基片材料為128°YX-LiNbO3、叉指換能器為Al電極,分別對叉指換能器數(shù)目為4、6、8的多叉指Rayleigh波器件進行三維模型實驗,驗證了該器件的可行性。實驗結(jié)果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激發(fā)Rayleigh波,該波只有x、y方向的質(zhì)點位移分量,且質(zhì)點的最大位移主要集中在器件表面的中心位置。此外,器件的模態(tài)頻率和質(zhì)點最大位移隨著叉指換能器數(shù)目的增加而增大,由此產(chǎn)生的Rayleigh波強度和器件的混合性能也會增強。

壓電與聲光雜志要求:

{1}獲得基金項目資助的文章注明基金項目名稱和編號。

{2}凡在本出版物發(fā)表的作品，本編輯部享有節(jié)選出版與轉(zhuǎn)載的權(quán)利，包括但不限于傳統(tǒng)媒體、數(shù)字媒體、數(shù)字出版物、網(wǎng)絡(luò)平臺等媒介載體，作為交流使用。

{3}圖表圖、表應(yīng)具自明性。以阿拉伯數(shù)字排表、圖序號。表格采用三線表格。

{4}一般注釋采用腳注的形式，即在正文需注釋處的右上方按順序加注數(shù)碼 1、2、3……。

{5}文中所用引文及資料，請核實準確，注明出處。

注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社