關(guān)鍵詞：位移測量 光柵 高精度測量 衍射干涉 

摘要：精密測量是精密機(jī)械加工的基礎(chǔ),是制造行業(yè)中影響制造精度的決定性因素之一,在當(dāng)代精密機(jī)械制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)以其對環(huán)境要求小,測量分辨率高等優(yōu)點(diǎn),在精密位移測量領(lǐng)域占據(jù)重要位置。基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)包括光學(xué)測量系統(tǒng)、信號接收、電子學(xué)細(xì)分及整體裝調(diào)幾部分。本文主要針對光學(xué)測量光路部分進(jìn)行綜述介紹。首先介紹了經(jīng)典光柵干涉位移測量原理;其次,綜述了基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)現(xiàn)狀;再次,對比分析了幾種最具有代表性的測量技術(shù),總結(jié)其優(yōu)缺點(diǎn);最后,對基于光柵的精密位移測量技術(shù)進(jìn)行展望,揭示其高精度、高分辨力、高魯棒性、微型化、多維化、多技術(shù)融合的發(fā)展趨勢。

中國光學(xué)雜志要求:

{1}參考文獻(xiàn)：采用順序編碼制，按照正文中出現(xiàn)次序列于文后。以參考文獻(xiàn)：(左頂格)作為標(biāo)識；序號（左頂格）用阿拉伯?dāng)?shù)字加方括號標(biāo)示；每一條目的最后均以實(shí)心點(diǎn)結(jié)束。

{2}論文章請?zhí)峁﹥?nèi)容提要和關(guān)鍵詞。內(nèi)容提要請?zhí)峁┲杏⑽陌姹荆篌w現(xiàn)作者的主要觀點(diǎn)，行文流暢、簡潔、客觀、規(guī)范。

{3}數(shù)據(jù)與表格:文中有計量意義的數(shù)據(jù)均應(yīng)使用阿拉伯?dāng)?shù)字，數(shù)據(jù)核對應(yīng)準(zhǔn)確無誤，需要時應(yīng)進(jìn)行統(tǒng)計學(xué)處理，統(tǒng)計學(xué)符號均用斜體。

{4}注釋與引文參考文獻(xiàn)統(tǒng)一編號混排于當(dāng)頁頁腳下。

{5}請確保文章符合研究倫理，注意保護(hù)研究參與者和其他利益相關(guān)人的隱私與權(quán)利。

注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社