關鍵詞：密封器件 壓力變化 測量方法 

摘要：針對小型半密封器件腔體壓力變化無法采用真空計直接測量的特點,提出了一種基于材料放氣率測量工作中使用的靜態(tài)壓升法和動態(tài)流量法,將兩者結合使用的腔體壓力間接測量法,并針對某種典型半密封器件產(chǎn)品,采用微型測量傳感器進行了原位模擬測試驗證。模擬測試結果表明,所提出的腔體壓力計算測量法具有測量結果準確,簡單可行,能解決小型半密封器件腔體壓力測量的難題。該方法適用于陀螺儀充油、制冷機腔體充氦、電推進系統(tǒng)氙氣充裝等過程中的腔體壓力變化實時監(jiān)測。

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