關(guān)鍵詞：等離子體輔助原子層沉積 包覆 硅基氮化物熒光粉 

摘要：采用等離子體輔助原子層沉積的方法,通過振動(dòng)流化床,在硅基氮化物熒光粉表面保形地包覆了氧化鋁薄膜。分別用傅立葉紅外光譜(FTIR)、掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和pH計(jì)對(duì)包覆前后熒光粉的表面成分、形貌和耐水性進(jìn)行了測(cè)試。最后,還用熒光光譜儀對(duì)包覆前后熒光粉的PL發(fā)光進(jìn)行了表征。結(jié)果表明,氧化鋁被保形地包覆在熒光粉顆粒表面。包覆大大提升了熒光粉在水中的穩(wěn)定性。包覆一定厚度的氧化鋁對(duì)發(fā)光性能有所提升并可以略微降低熒光粉的色溫。

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