關(guān)鍵詞：氦氣 真空漏率 真空壓力檢漏 氦質(zhì)譜檢漏儀 

摘要：ITER將第一次在世界上實(shí)現(xiàn)能與未來實(shí)用聚變規(guī)模相比擬的受控?zé)岷司圩儗?shí)驗(yàn)堆,解決通向聚變工程的很多物理和工程問題。其中超導(dǎo)體磁體作為國際熱核聚變實(shí)驗(yàn)堆ITER(International Thermonuclear Experimental Reactor)裝置的核心部件之一其制造過程中非常關(guān)鍵問題就是焊縫的密封性能。對于焊縫的密封性能常用檢漏方法是氦質(zhì)譜真空壓力檢漏。本文主要介紹了氦質(zhì)譜壓力真空檢漏方法在線圈泄漏檢測中的優(yōu)化分析及檢測步驟。通過給氦質(zhì)譜壓力檢漏法集氣室中的連接工裝增加輔助機(jī)械泵,避免真空條件下連接法蘭泄漏造成的檢漏系統(tǒng)本底信號過高影響,提高了氦質(zhì)譜壓力真空檢漏方法在線圈檢測中的靈敏度和檢測數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,減少了誤判的幾率,拓展了氦質(zhì)譜壓力真空檢漏方法的適用范圍。

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