關鍵詞：石墨烯 退火溫度 退火時間 

摘要：針對空間鉆探中硬質合金鉆具部件的減摩潤滑問題,提出一種在硬質合金基底上原位生長石墨烯的方法。在硬質合金基底上磁控濺射沉積非晶碳化硅(SiC)薄膜,利用合金中的粘結相Co在真空退火條件下催化非晶SiC,實現原位生長石墨烯。研究了在硬質合金基底表面磁控濺射沉積非晶SiC薄膜,在真空退火條件下,退火溫度、退火時間和C/Si原子比對金屬Co催化非晶SiC在硬質合金上原位生長石墨烯的影響,分析了金屬Co在催化非晶SiC制備石墨烯過程中的反應機理,為石墨烯在真空鉆探刀具潤滑材料的應用提供了一定的理論基礎。

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