關鍵詞：微波光子 集成器件 單片集成 異質集成 

摘要：集成微波光子技術具有寬帶性、高速性、小巧性和抗干擾性等一系列優勢,是未來寬帶信息系統發展的關鍵技術路徑之一。其中,硅基單片集成和硅基異質集成是集成微波光子技術的兩個重要研究內容。本文通過分析基于硅(Si)、鋸酸鋰(LiNbO3)和II+V化合物等材料體系的光子單片集成和異質集成器件的研究現狀,探討了集成微波光子系統的發展趨勢。本文認為:面向寬帶信息系統,以硅材料為基底,多種材料體系進行異質集成,能夠兼容COMS工藝的同時,還能充分發揮各種材料性能優勢,因此將會成為未來集成微波光子學的重要發展趨勢。

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