關鍵詞：多壁碳納米管 化學氣相沉積 吸附 場發射 氣體壓力傳感 

摘要：設計了一種基于多壁碳納米管(MWNT)場發射和氣體吸附的壓力傳感器。通過熱化學氣相沉積法(CVD)在合金基底上直接制備具有強附著性能的MWNT薄膜,以MWNT薄膜為場發射陰極,利用氣體吸附引發的場發射電流增強效應,測量環境壓力。在實驗室條件下分別測試了N2和大氣成分下的氣體壓力傳感性能,結果顯示,MWNT陰極材料在兩種氣體環境中均存在小電流場發射隨真空壓力升高而增長的傳感效應。基于該效應,設計了一種微型實用型壓力傳感器。該傳感器具有量程寬(1×10^-7~1×10^-3 Pa)、體積小(4 mm×5 mm×9 mm)、功耗低(5×10^-6~0.8 W)、無干擾、長壽命等優點。傳感器封裝在X光管中進行測試的結果表明,封裝后X光管內部真空度升高可達2個數量級,且X光管的真空度隨放置時間的延長而變差,結果符合理論預期。

真空與低溫雜志要求:

{1}作者姓名、單位和E-mail為必填項目，第一作者和（或）通信作者還需填寫電話、通信地址、手機號碼、郵政編碼、職稱和身份證號。

{2}稿件需附作者單位推薦信，注明單位對稿件的審評意見以及無一稿兩投、不涉及保密、署名無爭議等項。

{3}文章標題：一般不超過20個漢字，必要時可以加副標題。

{4}參考文獻：應以近5年文獻為主，引用公開發行的新研究原著，勿引用譯文、文摘、內部資料及轉載文章，盡量不引用教科書

{5}稿件摘要一般為200～300字，用第3人稱對全文內容進行準確概括，主要包括研究目的、方法、成果、結論等。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社