關(guān)鍵詞：氧化鎳薄膜 磁控濺射 熱氧化 光伏器件 

摘要：在氬氣氣氛下通過(guò)磁控濺射法在ITO基底上制備出單質(zhì)鎳薄膜,然后在空氣中于400℃用一種簡(jiǎn)便的水熱法退火處理2 h,利用熱氧化法得到氧化鎳薄膜。樣品用X-射線衍射儀(XRD)、X-射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)和紫外可見分光光度計(jì)進(jìn)行了表征。利用太陽(yáng)能模擬器對(duì)ITO/NiO/poly-TPD/PC71BM/Al光伏器件的性能進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明:器件的短路電流為5.6 mA/cm2,外量子效率(EQE)為1.5%,比PEDOT:PSS作為空穴傳輸層的器件的EQE高20%。熱氧化法制備的氧化鎳薄膜為構(gòu)筑其他氧化鎳基光伏器件提供了一個(gè)良好的途徑。

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